以下是可能用到的仪器：
1. 脉冲回波超声波测厚仪：用来测量支撑板的厚度。该仪器通过发射超声波，并根据声波的回波时间来计算物体的厚度。
2. 金相显微镜：用来观察支撑板的显微结构。通过放大支撑板的表面，可以检测到可能存在的缺陷或者其他表面性质。
3. 扫描电子显微镜（SEM）：通过高能电子束来观察支撑板的微观形貌。该仪器可以提供更高分辨率的图像，以便检测更小的缺陷。
4. 硬度计：用来测量支撑板的硬度。常用的方法包括洛氏硬度计、布氏硬度计等，通过对支撑板施加一定的载荷后测量形成的印痕大小或者硬度值。
5. X射线衍射仪：用来检测支撑板的晶体结构。通过照射支撑板样品并测量散射的X射线，可以得出支撑板的晶体结构信息。
6. 等离子体发射光谱仪（ICP-OES）：用来检测支撑板中的化学元素。通过将支撑板样品溶解，并使用等离子体发射光谱仪分析产生的光谱，可以确定支撑板中各元素的含量。
