真空严密度检测-检测方法
真空严密度是指在真空环境下,被检测物体或装置的密封性能。下面是几种常见的真空严密度检测方法:
1. 气密性检测方法:该方法一般用于大气压力下的气密性检测。通过将被检测物体或装置置于一定压力的气体环境中,观察是否有气体泄露,并测量漏气的数量和速率。
2. 质谱法:质谱法是一种常用的真空严密度检测方法。通过测量被检测物体或装置在真空状态下质谱仪中的气体组分分布和相对含量,从而判断密封性能。
3. 声速法:声速法是一种间接测量真空严密度的方法。通过在真空环境中产生一个短脉冲声波,利用声波传播时间和距离的关系计算真空严密度。
4. 氦气检漏法:氦气检漏法是一种常用的检测微小泄漏的方法。将被检测物体或装置与含有氦气的环境连接,在真空中通过检测器测量氦气泄漏量。
5. 液位法:液位法是一种简便的真空严密度检测方法。将被检测物体或装置放入一定深度的液体中,观察是否有气泡产生,从而判断密封性能。
这些方法可以根据实际需要选择合适的检测方法来进行真空严密度检测。