真空清洁机是一种用于清洁表面的仪器，它通过产生负压或真空环境，将污染物从表面吸附并排出。以下是一些可能用到的检测仪器：
1. 真空度测试仪：用于测量清洁机产生的真空度，通常使用毫巴（mbar）作为单位。
2. 污染物检测仪：用于检测表面的各种污染物，如灰尘、颗粒物、油污等。常见的检测技术包括光学方法、粒子计数器等。
3. 温度计：用于测量清洁机内部的温度，确保温度在适宜范围内。
4. 压力计：用于测量清洁机内部的压力，确保压力稳定和正常工作。
5. 流量计：用于测量清洁机产生的吸力或排出的废气流量，确保工作效率和排放标准。
6. 过滤性能测试仪：用于检测清洁机过滤器的性能，包括过滤效率、阻力等参数。
请注意，以上仪器只是一些可能用到的检测仪器，具体使用哪些仪器还需根据具体的清洁需求和操作要求进行选择。
