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真空下降检测-检测仪器

真空下降检测常用的仪器有:

1. 真空度测试仪:用于测量真空系统的真空度,常见的有化学气相沉积(CVD)用红外线波谱仪、电子束蒸镀系统用离子化率计等。

2. 压力传感器:用于监测真空系统的气体压力,常见的有微小容积漏率检测仪用的蠕动泵、力锐式真空计等。

3. 高真空检漏仪:用于检测真空系统中的泄漏,常见的有质谱湿式检漏仪、质谱干式检漏仪等。

真空下降检测-检测仪器
其他检测

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