制程检测-检测仪器
1. 光学显微镜:用于观察样品的表面形貌、颗粒大小、缺陷、纹理等信息。
2. 扫描电子显微镜(SEM):通过扫描探针来获取高分辨率的表面形貌和形态信息。
3. 能谱仪:通过测量样品辐射的能量谱来确定其元素成分和含量。
4. X射线衍射仪(XRD):用于分析样品的结晶结构、晶粒尺寸、晶格畸变等信息。
5. 傅里叶变换红外光谱仪(FTIR):用于分析和鉴定样品的化学结构、官能团、聚合程度等。
6. 热重分析仪(TGA):通过测量样品在高温条件下质量的变化来分析样品的热性能、热稳定性等。
7. 热膨胀仪(DIL):用于测量样品在温度变化下的线膨胀系数、热膨胀性质等。
8. 显微硬度计:用于测量样品的硬度,可以提供材料的硬度分布、硬度曲线等信息。
9. 电子束轰击仪(EBSD):通过测量电子背散射图案来分析样品的晶体结构、晶体取向等。