光学比较法测量仪器：通过光学原理，测量圆形板的直径、厚度、平整度等指标。
投影仪：基于光学投影原理，通过投影仪的光源投影样品的轮廓图像，然后通过测量投影图像的特征参数来判断圆形板的尺寸和形态。
光学平面测微仪：通过测量光线在圆形板上的反射、折射现象，确定圆形板的平整度和粗糙度。
光干涉仪：利用光的干涉原理，测量圆形板的平整度、形状误差和高度误差。
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