真空阀门检测主要用到的仪器有：
1. 真空度测试仪：用于测量真空环境下的压力或真空度。
2. 气体泄漏检测仪：用于检测阀门是否存在气体泄漏。
3. 超声波检测仪：用于检测阀门在工作过程中是否存在超声波振动。
4. 阀门工作状态监测仪：用于监测阀门的开闭状态、工作温度等参数。
5. 阀门材料分析仪：用于分析阀门材料的成分及物理性质。
6. 阀门耐压测试仪：用于测试阀门的耐压性能。
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