真空指示器检测-检测仪器
真空指示器检测常用的仪器有:
1. 真空度计:用来测量真空系统的压力,常见的有热阴极离子真空度计、比率热离子真空度计等。
2. 压力计:用来测量气体及液体中的压力,常见的有压力传感器、压力表等。
3. 真空泵:用来创建真空环境并提供真空力,包括机械泵、分子泵、扩散泵等。
4. 光谱仪:用来分析真空系统中气体的成分,常见的有质谱仪、光电离质谱仪等。
5. 漏率测试仪:用来检测真空系统的泄漏情况,常见的有氦质谱漏率仪、干式质谱漏检仪等。
6. 电子显微镜:用来观察材料的微观形态和成分,常用于检测材料中的微观空洞和气泡。