真空式冷却器检测通常会用到以下仪器：
1. 真空计：用于测量冷却器中的真空度，常见的真空计有热阴极离子真空计、冷阴极离子真空计、鼠尾管等。
2. 温度计：用于测量冷却器内部的温度，通常会选择适合于低温环境的温度计，如热电偶温度计或者测量反射率的红外温度计。
3. 压力计：用于测量冷却器中的气体压力，常见的压力计有电子式压力计、压电式压力计、荷兰风式压力计等。
4. 晶体振动频率计：用于测量冷却器中晶体的振动频率，从而判断其工作状态。
5. 气体分析仪：用于分析冷却器中的气体成分，通常会选择质谱仪、气相色谱仪等高精度的气体分析仪。
