X 射线衍射仪：用于分析薄膜的晶体结构和取向。
扫描电子显微镜：可以观察薄膜的表面形貌和微观结构。
原子力显微镜：用于测量薄膜的表面粗糙度和厚度。
傅里叶变换红外光谱仪：分析薄膜中的化学键和官能团。
台阶仪：测量薄膜的厚度。
椭圆偏振仪：用于测量薄膜的光学性质，如折射率和厚度。
四点探针：测量薄膜的电阻率。
X 射线光电子能谱仪：分析薄膜表面的元素组成和化学状态。
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