真空恶化检测主要用于检测和评估真空系统的性能和稳定性，以确保其正常运行和工作效果。
常见的真空恶化检测内容包括但不限于：
1. 漏气检测：通过检测真空系统中的气体泄漏情况，以确认系统的气密性。常用的方法包括质谱法、氦检漏仪法等。
2. 抽气速度测试：测定真空泵的抽气速度和真空系统中的气体流量，以评估真空泵的性能。
3. 气体成分分析：通过检测真空系统中气体的成分，判断是否存在杂质气体或不应存在的气体成分。
4. 气体净化效果检测：检测真空系统中气体净化设备的性能，如吸附剂、冷冻陷阱等，以评估其去除杂质气体的效果。
5. 真空度测试：测量真空系统的真空度，确定系统是否达到所需的真空程度。
6. 密封性检测：检测系统的密封性能，如阀门、接头等密封部件，以确认系统的密封效果。
7. 清洁度检测：检测真空系统中的污染物，如颗粒物、油脂等，并评估系统的清洁程度。
