光学显微镜：用于观察外延层的表面形貌和晶体结构。
扫描电子显微镜（SEM）：可提供更高分辨率的表面形貌图像，并能进行元素分析。
X 射线衍射仪（XRD）：用于分析外延层的晶体结构和取向。
光致发光谱仪（PL）：检测外延层的发光性能，评估材料的质量。
霍尔效应测试仪：测量外延层的电学性质，如载流子浓度和迁移率。
原子力显微镜（AFM）：用于研究外延层的表面粗糙度和微观结构。
傅里叶变换红外光谱仪（FTIR）：分析外延层中的化学键和官能团。
二次离子质谱仪（SIMS）：进行元素深度剖析，了解杂质分布情况。
热重分析（TGA）：评估外延层的热稳定性和成分变化。
拉曼光谱仪：提供关于晶体结构和分子振动的信息。
