真空脱碳检测仪器主要包括：
1. 真空度测试仪：用于测量真空脱碳过程中的真空度，常用的有热阴极真空度计、冷阴极真空度计等。
2. 气体分析仪：用于分析真空脱碳过程中产生的气体成分，常用的有质谱仪、气相色谱仪等。
3. 温度计：用于测量真空脱碳过程中的温度变化，常用的有热电阻温度计、热敏电阻温度计等。
4. 热解析仪：用于分析真空脱碳过程中样品的热解行为和释放气体的特性，常用的有热重分析仪、差热分析仪等。
5. 傅里叶变换红外光谱仪：用于分析真空脱碳过程中生成的气体的红外吸收谱图，以确定气体成分。
