X 射线衍射仪：用于分析晶体结构和位错密度。
电子显微镜：可以直接观察位错的形态和分布。
原子力显微镜：能够提供高分辨率的表面形貌和位错信息。
拉曼光谱仪：用于检测位错引起的晶格振动变化。
声学显微镜：通过声波传播特性来检测位错。
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中析研究所
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