X 射线衍射仪：利用 X 射线衍射原理，对晶体结构进行分析，可用于位错图样的检测。
电子显微镜：包括扫描电子显微镜（SEM）和透射电子显微镜（TEM），可提供高分辨率的图像，用于观察位错的形态和分布。
原子力显微镜（AFM）：通过检测探针与样品表面之间的相互作用力，可获得样品表面的形貌信息，包括位错的存在。
光学显微镜：虽然分辨率相对较低，但在一些情况下仍可用于观察位错图样。
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