X 射线衍射仪：用于分析晶体结构和位错密度。
电子显微镜：可以直接观察位错的形态和分布。
原子力显微镜：能够提供高分辨率的表面形貌图像，包括位错。
透射电子显微镜：用于研究位错的微观结构和晶体缺陷。
扫描电子显微镜：可观察位错在材料表面的形貌特征。
位错检测仪：专门用于检测位错的仪器。
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中析研究所
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