圆盘磨光机是一种常用于金属、陶瓷等材料表面磨光的设备。在圆盘磨光机的检测过程中，常用到以下仪器：
1. 磨削力测试仪：用于测量在磨削过程中施加在试样上的力，以评估磨削效果。
2. 磨削深度测量仪：用于测量试样表面被削除的深度，以评估磨削的精度和一致性。
3. 表面粗糙度测量仪：用于测量试样表面的粗糙度参数，如Ra、Rz等，以评估磨削表面质量。
4. 电子显微镜：可用于观察和分析磨削后试样的表面形貌，以评估磨削的效果。
5. 金相显微镜：用于观察和分析试样的组织结构，以评估磨削过程对材料微观结构的影响。
