微射束法是一种用于检测材料微观结构和成分的分析测试方法。它通过将微小的电子束或离子束聚焦到样品表面，然后测量束与样品相互作用产生的信号来获取信息。
微射束法可以用于检测材料的晶体结构、化学成分、表面形貌等。它具有高分辨率、高灵敏度和非破坏性等优点，适用于对材料进行微观分析和研究。
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中析研究所
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