显微镜：用于观察微电子器件的微观结构和表面形貌。
X 射线衍射仪：用于分析微电子器件的晶体结构和晶格参数。
扫描电子显微镜：用于观察微电子器件的表面形貌和微观结构。
原子力显微镜：用于测量微电子器件的表面形貌和粗糙度。
四点探针测试仪：用于测量微电子器件的电阻率和电导率。
霍尔效应测试仪：用于测量微电子器件的霍尔系数和载流子浓度。
光学显微镜：用于观察微电子器件的宏观结构和表面形貌。
热重分析仪：用于分析微电子器件的热稳定性和热分解行为。
差示扫描量热仪：用于测量微电子器件的热性能和相变温度。
傅里叶变换红外光谱仪：用于分析微电子器件的化学成分和官能团。
