1. 变形计：用于测量物体表面的微小变形，常用于检测材料的弹性变形和应力分布。
2. 光干涉仪：利用光的干涉现象来测量物体的微小形变，常用于测量薄膜的变形。
3. 声射频光谱仪：通过测量声波输入和输出的频谱，来判断物体是否发生了变形。
4. 电子对焦仪：通过测量物体的外观形状，来判断物体是否发生了变形。
5. 高速摄像机：用于捕捉物体变形的瞬间，从而进行分析和检测。
6. 压力传感器：通过测量物体受到的压力变化，来判断是否发生了变形。
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中析研究所
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