真空装置检测-检测仪器
真空度测试仪器:真空度测试仪是用来测量真空度的设备。常见的真空度测试仪器有:
1. 热阴极离子化真空计:采用热阴极发射电子的原理,通过测量电子的流动来判断真空度。
2. 磁控溅射离子化真空计:采用磁场和电场作用下离子流运动的原理,通过测量离子的流动来判断真空度。
3. 热阴极离子阱真空计:利用离子阱原理和电离子流检测技术,测量离子在离子阱中的运动情况,从而判断真空度。
4. 空气抽样真空计:通过抽取样本中的空气并进行分析,测量出真空度。
真空度检测仪器主要应用于真空技术领域,用于监测和控制真空系统的真空度,确保系统运行正常。