光学显微镜检测：通过观察外延层的表面形貌和结构，检测外延隔离的质量。
X 射线衍射检测：用于分析外延层的晶体结构和晶格参数，检测外延隔离的完整性。
扫描电子显微镜检测：可观察外延层的表面形貌、厚度和缺陷，对外延隔离进行评估。
电学性能测试：如电阻率测试、电容-电压测试等，用于检测外延隔离的电学特性。
二次离子质谱分析：可检测外延层中的杂质含量，评估外延隔离的纯度。
原子力显微镜检测：用于测量外延层的表面粗糙度和形貌，检测外延隔离的平整度。
光致发光谱分析：可检测外延层的发光性能，评估外延隔离的质量。
