1.真空度测试仪器：使用真空度测试仪器能够测量和监控真空环境的程度，常见的有热阴极式离子化真空计和微扩散泵测真空仪。
2.气体分析仪器：用于检测并分析真空室中的气体成分和浓度，常见的有气体质谱仪、气相色谱仪和气体检测仪等。
3.温度控制仪器：用于精确控制和调节镀锡设备的温度，常见的有温控仪、恒温槽等。
4.电流电压测量仪器：用于测量和监控电流和电压的数值，确保设备在正常工作范围内，常见的有数字示波器、万用表等。
5.厚度测试仪器：用于测量镀层的厚度，以确保镀锡层的质量，常见的有X射线衍射仪、电子束物理沉积仪等。
