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椭偏仪法是一种用于测量薄膜厚度、折射率和消光系数等光学参数的技术。
它广泛应用于半导体、光学、材料科学等领域。
常见的椭偏仪法检测对象包括:
半导体材料:如硅、锗等。
金属薄膜:如铝、铜等。
氧化物薄膜:如二氧化硅、氧化铝等。
聚合物薄膜:如聚乙烯、聚丙烯等。
液晶材料:如液晶显示器中的液晶层。
生物材料:如细胞膜、蛋白质等。
光学涂层:如增透膜、反射膜等。
纳米材料:如纳米颗粒、纳米管等。
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