电子束能谱仪（Electron Beam Energy Analyzer）：用于分析栅氧化层的成分和元素的化学状态。
扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscopy）：用于观察栅氧化层的形貌和微观结构。
原子力显微镜（Atomic Force Microscopy）：用于研究栅氧化层的表面粗糙度和纳米级结构。
紫外-可见吸收光谱仪（Ultraviolet-Visible Spectrophotometer）：用于测定栅氧化层的透过率、反射率和吸光度，帮助确定其光学性能。
电化学工作站（Electrochemical Workstation）：用于研究栅氧化层的电化学性能和电流-电压特性。
