微光束法检测是一种用于分析材料微观结构和成分的技术。它通过将聚焦的电子束或离子束照射到样品表面，产生各种物理信号，从而获取有关样品的信息。以下是微光束法检测的一些常见项目：
电子显微镜（SEM）：观察样品的表面形貌、微观结构和成分分布。
能谱分析（EDS）：确定样品中元素的种类和含量。
波谱分析（WDS）：更精确地分析元素的化学成分。
电子背散射衍射（EBSD）：研究晶体结构和取向。
离子束溅射（IBS）：制备薄膜或进行表面改性。
聚焦离子束（FIB）：进行微纳加工和样品制备。
二次离子质谱（SIMS）：分析表面化学成分和同位素分布。
原子力显微镜（AFM）：测量样品的表面形貌和力学性能。
扫描隧道显微镜（STM）：观察原子级别的表面结构。
微区 X 射线衍射（μXRD）：分析晶体结构和相组成。
微区拉曼光谱（μRaman）：研究分子结构和化学键。
荧光光谱（FS）：检测样品中的荧光物质。
阴极发光（CL）：研究材料的发光特性。
电子探针微区分析（EPMA）：定量分析元素的含量和分布。
俄歇电子能谱（AES）：分析表面化学成分和化学键。
X 射线光电子能谱（XPS）：确定元素的化学状态和表面吸附。
穆斯堡尔谱（Mössbauer spectroscopy）：研究铁等元素的化学环境。
核磁共振（NMR）：分析材料的分子结构和化学组成。
热分析（TA）：研究材料的热性能和相变。
动态力学分析（DMA）：测量材料的力学性能随温度和频率的变化。
热重分析（TGA）：测量材料的质量随温度的变化。
差示扫描量热法（DSC）：测量材料的热流和热容量。
傅里叶变换红外光谱（FTIR）：分析有机化合物的结构和官能团。
激光拉曼光谱（LRS）：快速、无损地分析样品的分子结构。
X 射线荧光光谱（XRF）：分析元素的含量和分布。
电感耦合等离子体发射光谱（ICP-OES）：高精度地分析元素的含量。
电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）：测定元素的同位素组成和痕量元素。
元素分析（EA）：测定样品中的碳、氢、氮等元素含量。
气相色谱-质谱联用（GC-MS）：分析有机化合物的成分和结构。
液相色谱-质谱联用（LC-MS）：分析生物分子和有机化合物。
热脱附-气相色谱-质谱联用（TD-GC-MS）：分析挥发性有机化合物。
裂解气相色谱-质谱联用（Py-GC-MS）：分析高分子材料的结构和成分。
