检测项目
1. 电子密度测量：范围109-1012 cm-3，精度±5%
2. 气体温度分析：覆盖300-10000K区间，分辨率±20K
3. 活性粒子浓度：包括O*/N*/H*等自由基物种（ppm级）
4. 等离子体电势：测量范围±200V，响应时间≤1μs
5. 发射光谱特征：波长范围200-900nm，光栅分辨率0.05nm
检测范围
1. 半导体材料：硅片/氮化镓基板的刻蚀残留气体
2. 光学薄膜：TiO2/SiO2镀膜工艺反应腔体气氛
3. 医疗器械：高分子材料表面改性产生的挥发性有机物
4. 环保领域：工业废气处理中的NOx/SOx分解产物
5. 新能源器件：锂离子电池电极材料制备过程副产物
检测方法
1. ASTM E3061-17 等离子体发射光谱分析法
2. ISO 13370:2020 质谱联用定量检测规程
3. GB/T 39123-2020 微波谐振腔诊断技术规范
4. IEC 62859-2016 等离子体工艺气体纯度测试导则
5. GB/T 40148-2021 Langmuir探针测量实施规范
检测设备
1. Hiden ESPion 等离子体诊断系统：实时监测电子温度/密度分布
2. Ocean Optics HR4000光谱仪：200-1100nm全波段采集（光学分辨率0.035nm）
3. Agilent 5977B GC-MS：痕量气体成分定性定量分析（检出限0.1ppb）
4. Keysight N9030B信号分析仪：射频功率谐波测量（频率范围3Hz-50GHz）
5. Tektronix MSO64示波器：高速采集等离子体瞬态信号（带宽6GHz）
6. Pfeiffer Vacuum QMG 700质谱仪：多组分气体在线监测（质量数1-1000amu）
7. Impedans Langmuir探针：自动扫描I-V特性曲线（功率密度0.1-10W/cm³）
8. Horiba PG-250颗粒计数器：纳米级副产物粒径分布统计（粒径范围10nm-10μm）
9. Fluke Ti450红外热像仪：非接触式温度场成像（热灵敏度≤0.03℃）
10. MKS Baratron压力计：真空环境动态压力监控（量程0.1mTorr-1000Torr）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
