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点阵位置检测

检测项目

1. 点阵间距测量:XY轴向间距公差±0.5μm(@25℃),Z轴层间公差±1.2μm

2. 坐标定位偏差:最大允许误差≤±0.8μm(基于ISO 10360-2标准)

3. 重复定位精度:3σ值≤0.3μm(连续20次测量循环)

4. 角度偏移量:θx/θy轴角分辨率0.001°,测量范围±5°

5. 表面共面度:平面度误差≤λ/4(λ=632.8nm激光波长)

检测范围

1. 半导体晶圆:12英寸硅片曝光标记点阵定位

2. OLED显示面板:RGB像素矩阵排列精度验证

3. 衍射光学元件:微结构周期相位分布检测

4. 金属增材件:SLM成型支撑点阵形变分析

5. 碳纤维复合材料:铺层定位标记三维坐标校准

检测方法

1. 激光干涉法:ASTM E2848-19标准规定波长稳定性需优于0.01ppm

2. 白光共焦扫描:ISO 25178-602对台阶高度测量不确定度要求<3%

3. X射线断层扫描:GB/T 35388-2017层析分辨率应达0.5μm/voxel

4. 机器视觉定位:GB/T 38659-2020规定亚像素算法精度≥1/50像素

5. 原子力显微测量:ISO 11039:2011接触模式力控范围0.1-100nN

检测设备

1. Zygo Verifire MST激光干涉仪:波长632.8nm,重复性0.15nm RMS

2. Keyence LM-9000坐标测量机:最大量程1200×800×600mm,U95=1.2+L/400μm

3. Bruker ContourGT-X3白光干涉仪:垂直分辨率0.1nm,扫描速度50μm/s

4. Zeiss Xradia 620 Versa显微CT:空间分辨率0.7μm@50kV,4D扫描功能

5. Olympus LEXT OLS5000激光共焦显微镜:405nm激光源,横向分辨率120nm

6. Hexagon Leitz PMM-C Infinity三坐标机:MPEE=0.6+L/333μm,温度补偿±0.1℃

7. Nikon NEXIV VMZ-S3520视频测量系统:双远心镜头,放大倍率35×-210×

8. Park NX-Hivac原子力显微镜:非接触模式Z噪声<0.02nm RMS

9. Mitutoyo Quick Vision Pro影像仪:双CCD自动对焦系统,重复精度±0.3μm

10. OGP SmartScope Flash 500多传感器系统:配备12MP彩色CMOS与激光扫描头

北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】

报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期:7~15工作日,可加急。

资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试:支持定制化试验方案。

售后:报告终身可查,工程师1v1服务。

点阵位置检测
其他检测

中析研究所可进行各种检测分析服务,包括不限于:标准试验,非标检测,分析测试,认证设计,产品验收,质量内控,矢量分析,内部控制,司法鉴定等。可出具合法合规、具有公信力的第三方检测报告。