检测项目
1.畴壁密度：测量单位面积内畴壁数量（10-10⁵cm⁻），精度5%
2.极化方向分布：分析180极化角度偏差（分辨率≤1）
3.局域压电响应：量化d33系数（0.1-500pm/V），灵敏度0.05pm/V
4.介电常数空间分布：测试εr值范围（50-5000），频率范围1kHz-10MHz
5.漏电流特性：测量电流密度（10⁻-10⁻⁶A/cm），电压范围20V
检测范围
1.铁电薄膜：PZT、BTO等厚度50nm-5μm的溅射/溶胶凝胶薄膜
2.单晶材料：铌酸锂（LiNbO₃）、钽酸锂（LiTaO₃）等晶向(001)/(111)
3.陶瓷材料：锆钛酸铅(PZT)基陶瓷（晶粒尺寸0.5-5μm）
4.聚合物复合材料：PVDF-TrFE共聚物（厚度10-200μm）
5.多层陶瓷电容器（MLCC）：BaTiO₃基介电层（单层厚度1-20μm）
检测方法
1.ASTME2865-12：压电力显微镜(PFM)定量测试标准
2.ISO21748:2017：扫描探针显微镜(SPM)测量不确定度评定
3.GB/T3389-2020：铁电陶瓷介电性能测试方法
4.IEC61006:2004：铁电材料开关特性测试规程
5.GB/T27759-2011：电子显微镜能谱定量分析方法
检测设备
1.BrukerDimensionIcon：配备PFM模块，最大扫描范围90μm90μm
2.Keysight9500AFM：支持双频共振追踪模式，Z轴分辨率0.03nm
3.ParkSystemsNX20：真空环境SPM系统（真空度≤110⁻⁶Torr）
4.OxfordInstrumentsCypherES：高温PFM系统（最高400℃）
5.HitachiAFM5300E：集成锁相放大器（频率范围0.1Hz-12MHz）
6.ZEISSMerlinCompact：场发射SEM联用EDS系统（分辨率0.8nm）
7.Agilent4294A：精密阻抗分析仪（频率范围40Hz-110MHz）
8.Keithley4200A-SCS：半导体参数分析系统（电流分辨率10fA）
9.PolytecMSA-600：微区振动测量系统（位移分辨率0.01pm）
10.RadiantPrecisionPremierII：铁电测试系统（最大电压10kV）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
