单空位检测
检测项目
1. 孔径尺寸测量:精度±0.5μm(测量范围0.1-500μm)
2. 形状偏差分析:圆度误差≤1.5%,椭圆度公差±0.8%
3. 表面粗糙度检测:Ra值0.05-6.3μm(取样长度0.25-8mm)
4. 孔隙深度测定:分辨率0.1μm(最大测量深度200μm)
5. 三维形貌重构:Z轴重复精度±10nm(扫描步长0.5-50μm)
检测范围
1. 金属基多孔过滤材料(钛合金/不锈钢烧结滤芯)
2. 高分子微孔膜(PTFE/PP分离膜组件)
3. 精密陶瓷结构件(氧化铝/碳化硅多孔陶瓷)
4. 增材制造金属件(SLM成型孔隙缺陷分析)
5. 半导体封装基板(微孔阵列导通性评估)
检测方法
1. ASTM E2651-18 采用X射线断层扫描进行三维孔隙表征
2. ISO 4287:1997 表面粗糙度触针式测量规范
3. GB/T 21649.1-2008 静态图像分析法测定孔径分布
4. ISO 15901-2:2022 压汞法测定介孔与大孔结构
5. GB/T 34331-2017 激光共聚焦显微镜表面形貌测量
检测设备
1. Keyence VK-X3000激光扫描显微镜(1200nm波长/0.01nm纵向分辨率)
2. Zeiss Xradia 620 Versa三维X射线显微镜(50nm空间分辨率)
3. Bruker ContourGT-K光学轮廓仪(0.1Å垂直分辨率)
4. Mitutoyo SJ-410表面粗糙度仪(16μm量程/0.01μm重复精度)
5. Thermo Scientific Apreo SEM场发射电镜(0.6nm分辨率)
6. Malvern Panalytical Mastersizer 3000激光粒度仪(10nm-3.5mm量程)
7. Shimadzu AIM-9000高速红外热像仪(1280×1024像素/30Hz帧率)
8. Agilent 5500 AFM原子力显微镜(噪声水平<30pm RMS)
9. Nikon NEXIV VMZ-S3520影像测量系统(双远心镜头/±1μm精度)
10. Olympus LEXT OLS5000共聚焦显微镜(405nm激光/16nm横向分辨率)
北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。