物理汽相淀积检测通常包括对淀积薄膜的物理、化学和电学性能的测试，以确保其质量和性能符合特定的要求。
薄膜厚度测量：通过各种方法，如椭圆偏振仪、反射光谱等，确定薄膜的厚度。
表面粗糙度测量：评估薄膜表面的平整度和粗糙度。
成分分析：如 X 射线光电子能谱（XPS）、俄歇电子能谱（AES）等，确定薄膜的元素组成和化学状态。
结晶度测试：通过 X 射线衍射（XRD）等方法，分析薄膜的结晶程度。
应力测试：测量薄膜在淀积过程中产生的应力。
附着力测试：评估薄膜与基底之间的结合强度。
电学性能测试：如电阻率、电容率等，确定薄膜的电学特性。
光学性能测试：如透过率、反射率等，评估薄膜的光学性能。
硬度测试：测量薄膜的硬度。
热稳定性测试：评估薄膜在高温环境下的稳定性。
耐腐蚀性测试：检测薄膜对化学物质的抵抗能力。
摩擦系数测试：评估薄膜表面的摩擦特性。
颗粒污染测试：检查薄膜表面的颗粒污染情况。
台阶覆盖率测试：测量薄膜在台阶结构上的覆盖程度。
均匀性测试：评估薄膜在整个表面上的厚度和性能均匀性。
缺陷检测：如针孔、裂纹等，检查薄膜中的缺陷。
密度测试：测量薄膜的密度。
热导率测试：确定薄膜的热传导性能。
介电常数和介电损耗测试：测量薄膜在电场中的存储和耗散电能能力。
击穿电压测试：评估薄膜的绝缘性能。
漏电流测试：检测薄膜中的漏电流。
耐湿性测试：评估薄膜在潮湿环境下的性能。
耐氧化性测试：检测薄膜对氧化的抵抗能力。
耐辐射性测试：评估薄膜在辐射环境下的稳定性。
磁性能测试：如磁化率等，测量薄膜的磁性能。
光学常数测试：确定薄膜的光学常数，如折射率和消光系数。
颜色测试：评估薄膜的颜色特性。
光泽度测试：测量薄膜表面的光泽度。
迁移率测试：评估薄膜中载流子的迁移率。
