衬底检测通常包括对衬底材料的物理、化学、电学和光学性能的测试，以确保其质量和适用性。
外观检查：观察衬底表面是否有缺陷、划痕、污染等。
尺寸测量：确定衬底的长度、宽度、厚度等尺寸参数。
平整度检测：评估衬底表面的平整度。
粗糙度检测：测量衬底表面的粗糙度。
化学成分分析：检测衬底中的元素组成。
晶体结构分析：确定衬底的晶体结构。
电阻率测试：测量衬底的电阻值。
介电常数测试：评估衬底的介电性能。
热导率测试：测定衬底的热传导能力。
热膨胀系数测试：测量衬底在温度变化时的膨胀程度。
硬度测试：测定衬底的硬度。
耐磨性测试：评估衬底的耐磨性能。
耐腐蚀性测试：检验衬底对腐蚀介质的抵抗能力。
光学性能测试：包括透光率、反射率等。
荧光特性测试：检测衬底的荧光发射特性。
激光损伤阈值测试：确定衬底在激光照射下的损伤阈值。
杂质含量测试：测量衬底中的杂质含量。
晶体缺陷检测：检查衬底中的晶体缺陷。
表面污染检测：检测衬底表面的污染物。
应力测试：评估衬底内部的应力分布。
热稳定性测试：测定衬底在高温环境下的稳定性。
电学稳定性测试：评估衬底在电学环境下的稳定性。
老化测试：模拟衬底在长期使用过程中的性能变化。
可靠性测试：评估衬底在各种条件下的可靠性。
封装性能测试：检测衬底与封装材料的兼容性。
环境适应性测试：评估衬底在不同环境条件下的性能。
