1. 确定真空度：使用真空度测试仪器，例如电子真空计或真空规。将仪器连接到被测系统，读取并记录系统的真空度。
2. 漏气检测：使用漏气检测仪器，例如质谱仪或氦质谱检漏仪等。将被测系统置于真空状态，并向系统内注入掺入氦气的混合气体。使用仪器扫描系统表面，检测氦气的泄漏情况。
3. 气体组成分析：使用气体组分分析仪器，例如气相色谱仪、质谱仪或全自动分析仪等。将气体样品从真空系统中抽取，并通过仪器分析得到气体组成的含量。
4. 强度测试：针对真空系统的结构件或密封件进行强度测试，例如压力测试或抗压测试。将被测件置于一定的压力下，观察其是否出现变形或泄漏。
5. 粒子污染检测：使用粒子计数器或粒子采样仪器，对真空系统内的粒子进行检测。将仪器置于真空系统中，检测系统内的微粒数量和尺寸分布。
