电子探针分析（EPMA）：利用电子束激发样品表面的特征 X 射线，对微区进行化学成分分析，可检测元素的种类和含量。
激光诱导击穿光谱（LIBS）：通过激光烧蚀样品产生等离子体，分析等离子体发射的光谱，可快速检测微区的元素组成。
原子力显微镜（AFM）：用于检测样品表面的形貌和微区的物理性质，如硬度、弹性等。
扫描电子显微镜（SEM）：结合能谱仪（EDS）可对微区进行形貌观察和元素分析。
透射电子显微镜（TEM）：可用于研究微区的晶体结构、相组成和缺陷等。
二次离子质谱（SIMS）：对微区进行高精度的元素和同位素分析。
X 射线衍射（XRD）：分析微区的晶体结构和相组成。
拉曼光谱：检测微区的分子结构和化学键。
荧光光谱：用于分析微区的荧光特性和化学成分。
