外观检查：检查微孔分气仪的外观是否有损坏、变形等情况。
气密性检测：检测微孔分气仪的气密性，确保气体不会泄漏。
流量检测：检测微孔分气仪的气体流量是否符合要求。
压力检测：检测微孔分气仪的气体压力是否稳定。
分辨率检测：检测微孔分气仪的分辨率是否足够高。
重复性检测：检测微孔分气仪的重复性是否良好。
准确性检测：检测微孔分气仪的测量结果是否准确。
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中析研究所
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