微调高度器的检测范围包括高度测量精度、重复性、线性度、分辨率等方面。
高度测量精度检测：使用标准高度块或高度规对微调高度器进行测量，比较测量结果与标准值的差异。
重复性检测：在相同条件下，多次测量同一高度，计算测量结果的重复性。
线性度检测：测量不同高度时的测量结果，与标准高度进行比较，计算线性度误差。
分辨率检测：测量微调高度器的最小可分辨高度变化。
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中析研究所
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