真空击穿检测是一种用于确定材料或设备在各种条件下能否承受电压应力的测试方法。
常用的真空击穿检测方法包括：
1. 空气间隙击穿电压测试：将被测试材料或设备放置在真空室中，逐渐增加电压直到发生击穿。
2. 断电弧击穿电压测试：通过向材料或设备施加非平衡电压，在真空下观察是否发生弧光放电。
3. 电泳击穿电压测试：将被测试材料或设备放置在电极之间，施加电压并测量电流，直到发生击穿。
4. 小球击穿电压测试：将一小球放置在被测试物体上，并在真空中施加逐渐增加的电压，直到小球发生击穿。
5. 波形分析击穿电压测试：通过对击穿前后的电流、电压波形进行分析，判断是否发生了击穿。
这些方法可以通过测试设备和仪器来完成，如高压发生器、高压电极、真空室、电压/电流测量仪等。
