1. 露点测试：使用露点测试仪器检测真空处理装置中的气体露点值。此测试可以判断气体中的水分含量，以避免在真空处理过程中产生水蒸气和凝露。
2. 漏气测试：使用气体检漏仪或泄漏检测仪器对真空处理装置进行漏气测试。通过充入气体或密封部位喷洒检漏剂，检测是否存在气体泄漏现象。
3. 压力测量：使用压力传感器或压力表对真空处理装置进行压力测量。此测试可以确认真空处理装置内部的真空程度，是否符合要求。
4. 温度测量：使用温度传感器或温度计对真空处理装置内部的温度进行测量。此测试可以确保真空处理装置在工作过程中不会产生过高的温度。
5. 真空度测量：使用真空度测量仪器对真空处理装置的真空度进行测量。通过测量真空度可以判断真空处理装置是否正常运行，并且是否需要进行进一步的维护和保养。
