锗掺杂芯的检测可以采用以下方法：
1. 电学测试：使用电学测试设备对锗掺杂芯进行电阻和电容测试，以确定其电气特性。
2. X射线衍射（XRD）：利用X射线对锗掺杂芯进行衍射测试，以分析其晶体结构和晶格参数。
3. 扫描电子显微镜（SEM）：使用SEM观察锗掺杂芯的表面形貌和微观结构，以评估其质量和纯度。
4. 能谱分析：通过能谱仪对锗掺杂芯进行能谱分析，以确定其中的元素组成和含量。
5. 光谱分析：利用光谱仪对锗掺杂芯进行光谱分析，以确定其光学特性和发光性能。
6. 元素分析：采用元素分析仪对锗掺杂芯进行元素分析，以确定其中各种元素的含量。
综上所述，以上是锗掺杂芯的常见检测方法，可以通过这些方法对锗掺杂芯进行全面的分析和测试。
