X 射线衍射分析（XRD）：用于确定薄膜的晶体结构和相组成。
扫描电子显微镜（SEM）：可观察薄膜的表面形貌和微观结构。
原子力显微镜（AFM）：用于测量薄膜的表面粗糙度和形貌。
能量色散 X 射线光谱（EDS）：分析薄膜的元素组成。
X 射线光电子能谱（XPS）：确定薄膜的化学组成和化学键。
拉曼光谱：提供关于薄膜分子结构的信息。
椭圆偏振光谱：测量薄膜的厚度和光学常数。
电阻测量：评估薄膜的电学性能。
硬度测试：测定薄膜的硬度。
附着力测试：评估薄膜与基底的结合强度。
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