X 射线衍射法：通过分析晶体的衍射图谱来确定位错密度。
电子显微镜法：直接观察晶体中的位错结构，包括位错线、位错环等。
化学腐蚀法：利用化学试剂对晶体表面进行腐蚀，通过腐蚀坑的密度来估算位错密度。
中子衍射法：适用于研究大块晶体中的位错密度。
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中析研究所
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