外观检测：检查衬底表面是否有划痕、缺陷、污染等。
厚度测量：使用千分尺或其他测量工具测量衬底的厚度。
平整度检测：通过平整度测试仪或显微镜检查衬底表面的平整度。
化学成分分析：使用 X 射线荧光光谱仪等设备分析衬底的化学成分。
晶体结构分析：采用 X 射线衍射仪等仪器分析衬底的晶体结构。
电学性能测试：包括电阻率、电容率等电学参数的测量。
光学性能测试：如透过率、反射率等光学参数的测定。
热学性能测试：例如热导率、热膨胀系数等的检测。
力学性能测试：评估衬底的硬度、强度等力学性能。
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中析研究所
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