光学显微镜检测：通过显微镜观察物体表面的微观结构，测量微英寸级别的尺寸。
扫描电子显微镜检测：利用电子束扫描物体表面，获取高分辨率的图像，可测量微英寸级别的尺寸。
原子力显微镜检测：通过探针与物体表面的相互作用，测量微英寸级别的表面形貌和尺寸。
X 射线衍射检测：分析物体的晶体结构，可用于测量微英寸级别的晶体尺寸。
激光干涉测量：利用激光干涉原理测量物体的微小位移或尺寸，精度可达微英寸级别。
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中析研究所
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