微分电容扩散结检测是一种用于检测半导体材料中扩散结特性的方法。它通过测量扩散结在不同偏压下的电容变化来获取有关结的信息。
这种检测方法可以用于确定扩散结的深度、掺杂浓度分布等参数。
微分电容扩散结检测通常需要使用专门的测试设备，如电容测试仪等。
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